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資訊動態(tài)
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mpcvd即Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition的單詞縮寫，中文意思為微波等離子體化學(xué)氣相沉積。MPCVD設(shè)備適合高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長.多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長等。